在半导体设备中，不起眼的密封件出现故障能够引起设备直接罢工。在真空等离子清洗机的运行中也不例外。密封件的种类有很多，适用的部位是不相同的，密封件的选择是否合适，是一台真空等离子清洗机密封性好坏的关键。其实，选对合适的密封件也是有方法可循的，今天就来给大家介绍一下真空等离子清洗机上主要使用到的三种密封件，以及其对应使用的部位，希望对大家有所帮助。

真空等离子清洗机上所使用的密封件从种类上分主要有3种，**种是O型密封圈、**种是管路支架密封件、第三种是密封垫片。

1.真空等离子清洗机上所使用的O型密封圈

O型密封圈(O-rings)是一种截面为圆形的橡胶密封圈，因其截面为O型，故称其为O型橡胶密封圈。O型密封圈是机械设计中*常见的密封元件之一。

O型密封圈的优点有很多，先来举几个较为突出的优点，首先O型密封圈的制造十分简单，原材料也是比较普通的橡胶成分，因此价格比较便宜；其次是O型密封圈的耐磨性强，密封性能可靠；*后，O型密封圈安装简单、易于操作。图片

O型密封圈在真空等离子清洗机上主要运用在真空等离子清洗机的真空腔体与其他部件相连接的部位，起到密封作用，比如真空腔体与真空门之间的密封、馈入电极与真空腔体之间的密封以及真空腔体与真空管路之间的密封等等。

2.真空等离子清洗机上所使用的管路支架密封件

管路支架密封件是一种运用于真空等离子清洗机外部管路与管路之间相连接的密封件，管路支架密封件一般和真空卡箍一起配合使用，使用时将管路支架密封件放置在管路与管路之间，然后用真空卡箍锁紧，通过真空卡箍的挤压，使管路夹紧管路支架密封件，*终可实现密封效果，是一种常见的管路与管路之间的密封方式。

管路支架密封件的主要优点是安装起来十分方便，无需使用工具；密封性能好。管路支架密封件在真空等离子清洗机上主要运用在真空管路之间的连接处上。

3.真空等离子清洗机上所使用的密封垫片

密封垫片是一种用于有流体的机械、设备所使用的密封件。密封垫片是金属或非金属的板状材质，经切割、冲压或裁剪等工艺制作而成的，主要用于机器设备的机件与机件之间的密封连接。